N2通路
该系统由进出口的气闸区、四个加热区以及一个冷却区组成。为了获得低残氧率的气体环境,需要在相应的炉膛舱室内配备气闸。传输通路由出入口的气闸分隔成三段式传输,气闸隔板可以独立地打开和关闭,用于防止空气流入,保持低残氧量的氮气环境,由此来确保稳定的惰性气体制程。
该系统由进出口的气闸区、四个加热区以及一个冷却区组成。为了获得低残氧率的气体环境,需要在相应的炉膛舱室内配备气闸。传输通路由出入口的气闸分隔成三段式传输,气闸隔板可以独立地打开和关闭,用于防止空气流入,保持低残氧量的氮气环境,由此来确保稳定的惰性气体制程。